その1:微細化に必要な装置って露光装置だけなの? ASMLがEUV露光メーカーとして有名らしいってのはニュースでやっていたのでわかった。 EUV露光にレジストや、レーザー光によって生...
TSMCはパラメータチューニングが凄いっていうのだと、どちらかというと装置メーカーの方が装置に詳しいのだから最高性能が出せる気がする。 成膜はA社、洗浄は〇〇社の装置、露光...
Google と SkyWalker 社の PDK はあるがあっちの世界はよー知らない https://gigazine.net/news/20200711-google-skywater-opensource-pdk/