2022-12-10

anond:20221210214659

TSMCパラメータチューニングが凄いっていうのだと、どちらかというと装置メーカーの方が装置に詳しいのだから最高性能が出せる気がする。

成膜はA社、洗浄は〇〇社の装置、露光は△△社、現像は××社、エッチングは⁇社と装置ごとにメーカー分かれてるし、各半導体メーカーでいろんなメーカー装置を組み合わせで工程を作ってる

同じTSMCでも各製品で違う組み合わせの工程作ってるかもしれないし

半導体メーカープロセス装置の使い方を把握してそれぞれにチューニングするなんて装置メーカーとしてはやってられないんだと思う

記事への反応 -
  • その1:微細化に必要な装置って露光装置だけなの? ASMLがEUV露光メーカーとして有名らしいってのはニュースでやっていたのでわかった。 EUV露光にレジストや、レーザー光によって生...

    • TSMCはパラメータチューニングが凄いっていうのだと、どちらかというと装置メーカーの方が装置に詳しいのだから最高性能が出せる気がする。 成膜はA社、洗浄は〇〇社の装置、露光...

    • Google と SkyWalker 社の PDK はあるがあっちの世界はよー知らない https://gigazine.net/news/20200711-google-skywater-opensource-pdk/

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