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この言葉が初めて用いられたのは、1920年にチェコスロバキア（当時）の小説家カレル・チャペックが発表した戯曲『R.U.R.（ロッサム万能ロボット商会）』においてであるが、この作品では現在認知されている金属製の機械ではなく、人間とは異なる組成の肉体と人間そっくりの外見を持つものを、化学的合成で原形質を使って製作したもので、現在のSFで言うバイオノイドである。
チェコ語で強制労働（もともとは古代教会スラブ語での「隷属」の意）を意味するrobota（ロボッタ）と[2]、スロバキア語で労働者を意味するrobotnik（ロボトニーク）から創られた造語[3]である。
着想にはゴーレム伝説が影響していると作者が述べており[4][5]、また、言葉自体も作ったのは自身ではなく、兄で画家のヨゼフ・チャペックであるとしている。あらすじを兄に話し、どのような名前にしたらよいだろうかと聞いてみたところ、口に絵筆をくわえてもごもごとした口調で「ロボット」はどうだろうかと答えたという[6]。その後、この作品が各国で翻訳・上演されたことで広まり、一般に使用されるようになった。
日本においても、同作品が1923年に『人造人間』（宇賀伊津緒訳、春秋社）として出版されており、宇賀はrobotを「人造人間」と訳している。原典のままをカタカナ化した言葉が普及するのは、戦後以降である。
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